[光刻机]
- 中芯国际武汉12英寸厂迎来首批亿元级生产设备
- 沉默一时的中芯国际(下称“中芯”)武汉12英寸厂，终于有了新动作。《第一财经日报》获悉，3月6日凌晨4点，该厂一期工程首批部分生产设备，搭乘波音747国际货运的包机抵达武汉机场。
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- 中国首台自主研发的“光刻机”在合肥面世
- 国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜光刻机日前在合肥面世。记者从芯硕半导体公司了解到，该公司此项技术投入资金5000万元，历经一年时间，两台光刻机已于去年12月正式下线，其分辨率已达到0.65微米。
- 关键词 : 亚微米 直写 光刻机 自主研发 自主知识产权 半导体公司 掩膜 半导体技术 中国工程院 向高端
- 中国首台自主研发的“光刻机”在合肥面世
- 国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的无掩膜光刻机日前在合肥面世。记者从芯硕半导体公司了解到，该公司此项技术投入资金5000万元，历经一年时间，两台光刻机已于去年12月正式下线，其分辨率已达到0.65微米。
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- 国内首款自主知识产权的直写式光刻机问世
- 12月25日，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。图为科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。
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- 国内首款自主知识产权的直写式光刻机问世
- 12月25日，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机在合肥问世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。图为科研人员展示一张刻有电子芯片电路图的成品晶元。
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- 中芯国际上海12英寸芯片生产线投产
- 中芯国际集成电路制造有限公司(下称“中芯国际”)(SMI.NYSE；0981.HK)在上海的12英寸芯片生产线——中芯国际八厂昨天成功投产进入正式运营阶段。” 据了解，中芯国际上海12英寸芯片生产线项目为上海市科教兴市重大工程项目，项目于2005年10月开工建设，2007年5月设备迁入，7月开始试投产。
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- 国内首台自主知识产权光刻机将在合肥面世
- 国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。芯硕半导体公司生产的直写式光刻机具有中国自主知识产权，将为中国光刻机技术的发展奠定坚实基础。
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